アルミナ細管

当社セラミックス製細管の特徴

当社のセラミックス製細管は半導体製造装置のガス流路部品として使用されています。この基礎技術は十数年前に「東北大学」および「東京エレクトロン」が主導する新型半導体製造装置開発のNEDOプロジェクトに参画した際に開発したものです。当社の役割は、プラズマ成膜装置に搭載するシャワープレートの開発であり、最大の課題は、強力なプラズマによる電流を逆流させずに、プロセスガスをチャンバー内に流し込むための微細孔加工を施したシャワープレートをどのように作成するかということでした。

そこで我々は、多数の高アスペクト微細孔を配した細管をシャワープレートに埋め込むという技術を作り上げるという回答に行きつき、ついにやり遂げることができました。